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SICV200 晶圆电阻率测量设备
SICV200主要是对碳化硅晶圆和SI晶圆的电阻率的量测设备
SICV200 描述
  • 变频分析支持20kHz到1MHz下鹊缤娉窍略豠pp黄德实腃V特性分析

  • 检测电平范围10mV到2V的宽电平范围可以得到更加稳定且可靠的CV特性曲线

  • 支持各种不同尺寸晶圆(4’&6’&8’&12’),全面支持碳化硅晶圆和硅晶圆

  • 自主开发CRT40电容表具备良好的稳定性和精度

  • 半自动方案以及符合SEMI标准的全自动方案,亦可根据客户的需求做灵活的定制

  • 针对产品痛点以及客户改进建议,SICV设备均作了相应的改进和优化

优势

高速、高精度运控制技术;

     快速稳定扫描:电压-电容曲线扫描;

     算法框架:消除噪声信号;


特征

根据客户的需求可灵活的定制半自动方案以及符合SEMI标准的全自动方案;

自主开发CRT40电容表具备良好的稳定性和精度;

变频分析支持 20kHz to1MHz;

支持各种不同尺寸晶圆;


  • 公司地址
    上海市浦东新区盛夏路570号1幢402室
  • 联系方式
    服务热线:销售经理:冯忠平 15895446509
    联系邮箱:service@avantsemi.com.cn
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