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Eos200DSR 全自动反射式光学膜厚量测设备
Eos200DSR是电玩城下载app-中国有限分公司开发的全自动反射式光学膜厚量测设备
Eos200DSR 描述
  • 集成了紫外和近红外两套光学系统和两套膜厚量测算法

  • 能够实现对SOI工艺顶层硅厚度从0到150um的超宽厚度范围的量测

  • 量测的重复性好:0-3um样品重复性0.02nm;3-150um样品重复性0.006um

  • 光源稳定耐用,使用寿命长,大大降低了设备的维护频率和维护成本

  • 可对接晶圆厂的MES系统,实现工厂自动化生产


优势

采用双光学探头双膜厚设计,满足客户各种厚度顶层硅的量测需求;

超长寿命光源,维护成本低;

高速高精度运动平台;



特征

全域拟合算法用于薄膜量测,满足薄膜量测精度的需求;

FFT厚膜算法用于厚膜量测,极大扩宽了设备的量测范围;


  • 公司地址
    上海市浦东新区盛夏路570号1幢402室
  • 联系方式
    服务热线:销售经理:冯忠平 15895446509
    联系邮箱:service@avantsemi.com.cn
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