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优睿谱首台国产SiC外延膜厚测量FTIR设备Eos200Lite正式交付客户
Eos200Lite是公司外延膜厚度和元素浓度全自动测量系统的一员，是专为碳化硅外延膜厚测量而设计的一款全自动、非接触式设备，采用高速晶圆传输、创新的模块化光学系统设计等，具有小型化、高产能、低运营和维护费用等优势。
2022-12-05
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超5亿，上海6家企业宣布完成新一轮融资
2022-09-02
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优睿谱完成数千万元Pre-A轮融资 公司设备已正式在客户端使用
2022-08-31
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优睿谱完成数千万元 Pre-A 轮融资，弘卓资本领投
2022-08-31
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