兼容4、6、8寸晶圆检测；
具有内置预对准器的工业标准机器人晶圆传输系统；
采用激光聚焦，高速旋转点扫描的成像系统；
自制的模块化的光学腔；
自研的多通道缺陷检测算法以及友好的软件操作界面；
通过SEMI S2和CE认证；
优势
提供无损的缺陷检测方案；
搭载5000RPM的Spindle，高吞吐量；
灵敏度可达60nm PSL/Si wafer；
配备320nm，355nm以及405nm的激光光源，从而对碳化硅衬底和外延个性匹配及兼容；
收集多波长的光致发光信号对不同缺陷进行区分；
友好的用户界面，简单的操作流程；
