高度集成机械设计，可以集成在12英寸EFEM Load Port接口。
高精度XTZ运动平台，缩小体积的同时又达到了高精度和高稳定性的要求。
自研图形识别辅助定位解决方案，极大的提高了定位精度。
自研高效全域拟合分析算法，可以解决多层复杂结构的薄膜厚度量测，量测量程大。
优势
自研SR光学平台，做到了极小光斑，高信噪比，高稳定性；
自研图形识别辅助定位解决方案，自研高效全域拟合分析算法，可以解决多层复杂结构的薄膜厚度量测，量测量程大。
