兼容4/6/8/12寸键合晶圆
手动取放、自动装载晶圆，自动扫描和处理结果
搭载单探头
可选自动吹干、自动调平、自动去除气泡等功能
优势
上下片简单，具有重复定位特性；
自动去除样品上下面、探头端部可能存在的气泡；
自动调平样品，操作简单。结束后样品自动干燥。
