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Eos 300T 12寸碳氧浓度测量设备
Eos 300T是优睿谱元素与外延膜厚测量系统的一员,用于12寸碳氧浓度测量。其特点是高速晶圆传输、稳健创新的模块化光学系统设计,具有高通量、低运营成本和低维护水平。产品采用先进的GEM/SECS以太网通信设计,适用于标准清洁环境操作。
Eos 300T 描述
  • 模块化设计的光学单元,采用成熟的优睿谱傅立叶红外技术;

  • 红外光源和HeNe激光器及防潮设计可降低维护成本(Coo)并延长设备正常运行时间;

  • 配备优睿谱元素分析系统;

  • 完全符合SECS/GEM标准,SECS接口支持本地控制操作,主机通过HSMS/SECS-1协议进行的远程控制操作;

  • 具有友好的用户界面的客户服务器架构允许快速数据收集和二维或三维成像。


优势

  • 利用FTIR技术实现元素非接触测量,同时具备高运行产能;

  • 友好的用户界面,方便快捷的程序设置;



特征

  • 光学系统采用ZnSe分束器和带有室温MCT检测器;

  • 能够根据客户的特殊要求为系统软件提供相应的定制。

 



  • 公司地址
    上海市浦东新区盛夏路570号1幢402室
  • 联系方式
    市场与销售:sales@avantsemi.com.cn
    求职招聘: talent@avantsemi.com.cn
    服务邮箱: service@avantsemi.com.cn
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